Zdroje atmosférického plazmatu

zpět

Na naší katedře máme k dispozici dva různé typy zdrojů atmosférického plazmatu.

Prvním z nich je vysokofrekvenční atmosférická plasmová tryska (anglicky RF plasma jet). Ta je instalována na programovatelný mechanismus umožňující 3D pohyb trysky nad opracovávaným povrchem.  Tryska je vhodná především pro leptání a opracování povrchů. Při použití vhodného organického prekurzoru je možné ji použít i pro depozice.

 tryska

Druhým typem je pak aparatura založená na dielektrickém bariérovém výboji (anglicky – Dielectric Barrier Discharge - DBD). Tento systém je umístěn do komory umožňující změnu pracovního plynu a je používán zejména k modifikaci a leptání povrchů polymerů i pro leptání komplexních biologických materiálů (např. bílkoviny, bakteriální spory).  Nicméně i tento systém je možné použít, po připuštění vhodného prekursoru, pro depozice tenkých vrstev.

 dbd

zpět