krystalové mikrováhy

 Krystalové mikrováhy jsou vhodným prostředkem pro měření depoziční rychlosti ve vakuu. QCM měří přírůstek hmotnosti na jednotku plochy pomocí změny vlastní frekvence kmitů krystalového rezonátoru. Krystalový rezonátor je tvořen tenkým piezoelektrickým krystalem, na který je napařena z každé strany jedna elektroda. Jak vypadá krystalový rezonátor je vidět na obrázku vlevo. Na obrázku vpravo je znázorněn princip krystalového rezonátoru. Pokud přivedeme na elektrody napětí, piezoelektrický krystal změní svoji strukturu a tím změní i svoji výšku. Pokud přivedeme na elektrody vhodné střídavé napětí, krystal bude periodicky svoji výšku měnit. Krystal se bude chovat jako rezonátor s určitou vlastní rezonanční frekvencí. My tuto frekvenci vybudíme. Když na horní elektrodu dopadnou deponované částice, bude tento rezonátor těžší, proto se rezonanční frekvence krystalu sníží. Pomocí tohoto rozdílu frekvencí můžeme zjistit, jaká je hmotnost nadeponovaného materiálu.