vakuové depoziční aparatury

Většina našich vzorků je připravována pomocí vakuových metod. Běžné depozice probíhají za tlaků řádově jednotek Pa. Specializované depozice jako příprava nanočástic nebo nanosloupců vyžadují tlaky v řádu desítek až stovek Pa nebo naopak desetin až setin. Depozice probíhají v čistých plynech přiváděných z tlakových lahví. Z toho důvodu je třeba aparatury sčerpat na ještě výrazně nižší tlaky. Všechny komory mají dvoustupňové čerpání (rotační + difuzní vývěva nebo scroll + turbomolekulární vývěva) a je možné v nich dosáhnout mezního tlaku 10-3 až 10-4 Pa nebo i méně v případě turbomolekulární vývěvy.

Samotné depozice nebo modifikace povrchů probíhají jednak pomocí vypařování ve vakuu (depozice), jednak pomocí rozprašování s použitím speciálních elektrod, či magnetronů (depozice nebo modifikace).